最高。温度(℃):1900
连续使用温度 (°C): 1700
容量(L):1
真空度: 10^-4 torr
气体流量计。 质量流量控制器(数量:2个用于CH4和H)
进气孔。KF 25(总数量:2,1个用于真空,1个用于惰性气体入口)
压力控制。 压力传送器和真空传感器
真空扫描极限:10^-4torr的扩散泵系统将被集成到炉子里。 抽真空后,加热过程将继续使用氩气、甲烷和氢气。
炉膛类型。垂直和圆柱形
加热室。 强化舱,耐高真空。
加热元件。石墨
护热板。石墨
温度显示灵敏度:± 1°C
受控冷却。 没有快速冷却的选项。然而,对于慢速冷却,可以用1°C/min来控制。
装载类型。顶部装载
人机界面:PLC + Siemens 9̎触摸屏幕
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