残余气体分析仪

浓度集成式

MKS 的残余气体分析仪用于一般残余气体分析。 它们适用于不同的残余气体分析仪应用，包括加速器、真空涂层和高能物理学。 它们为真空监测和电子诊断开辟了新的可能性。 残余气体分析仪采用前所未有的仪器控制选项，使真空故障排除和室内残余气体监测变得简单。