质谱光谱仪 RGA

工艺流程PMT

RGA系列，制造由MKS仪器，是处理质谱仪的类型。 设备是一台创新程序控制仪器。 他们与应用程序结合例如残余的单光束贝克曼气体分析仪， RGA、分析设备和控制软件。 真空监视包括超高真空、CVD过程、真空基础线RGA等等。