Z轴纳米定位平台 00-55-550-0810平动压电压电
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产品规格型号
- 方向定位
- Z轴, 平动
- 类型
- 压电
- 其他特性
- 带控制器
- 运行行程
500 mm
(19.685 in)- 重复精度
0.05 µm
产品介绍
产品
压电Z台
货号
00-55-550-0810
主要特性
数据表
技术规格
压电Z台
货号
00-55-550-0810
主要特性
- 含控制器 EBD-060310
- 行程：500 µm
- 分辨率：5 nm / 31 nm
- 重复定位精度：50 nm
- 兼容大多数 Märzhäuser SCAN IM 系列扫描台
- 压电控制器可直接连接至带 AUX I/O 的 TANGO 控制器
- 可实现最大500 µm 行程的动态 Z 运动
- 通过触发功能可实现高动态扫描序列
数据表
- 00-55-550-0810_Piezo_Z-Tisch_500_µm_DE.pdf
- 00-55-550-0810_Piezo_Z-Stage_500_µm_EN.pdf
技术规格
- 货号：00-55-550-0810
- 控制器：EBD-060310（含）
- 行程：500 µm
- 分辨率：5 nm / 31 nm
- 重复定位精度：50 nm
- 兼容性：兼容大多数 Märzhäuser SCAN IM 系列扫描台
- 连接：可直接连接至带 AUX I/O 的 TANGO 控制器
- 运动：最大500 µm 的动态 Z 运动
- 功能：触发功能用于高动态扫描序列
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