XRD衍射仪 Wafer XRD 300

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可集成的晶圆定向解决方案 工厂自动化的强大功能与我们的新一代 X 射线衍射技术相结合。Wafer XRD 300 是用于晶体定向和晶片几何控制的超快速、高精度计量模块。 Wafer XRD 300：您用于 300mm 晶圆生产的高速 X 射线衍射模块，可提供晶体定向和几何特征（如凹槽、平面等）等各种重要参数的关键数据，其设计可与您的工艺线完美结合。 功能和优点 利用我们专有的扫描技术实现超高速精度 所使用的方法只需要一次旋转扫描就能收集到所有必要的数据，从而完全确定晶体的取向，测量精度高，测量时间短，仅需几秒钟。 全自动处理和分拣 Wafer XRD 300 的设计旨在最大限度地提高您的吞吐量和生产率。与您的处理和分拣自动化完全集成，使其成为您流程中功能强大且高效的补充。 全自动处理和分拣 连接方便 Wafer XRD 300 强大的自动化功能与 MES 和 SECS/GEM 接口兼容，可轻松融入您的新流程或现有流程。 高精度，深入洞察 通过 Wafer XRD 300 的关键测量，以前所未有的方式了解您的材料，这些测量包括 晶体取向 缺口位置、深度和开口角度 直径 平面位置和长度 可根据要求提供其他传感器