XRD衍射仪 Omega/Theta

实验室

Omega/Theta XRD 在测定晶向方面具有极高的精度和速度。Omega/Theta XRD 具有条形码阅读器和晶体堆垛支架等多种工艺配件，可容纳重量达 30 kg、长度达 450 mm 的一系列样品，并且能在短短 10 秒内返回结果。它是定位好的晶向转移至加工工具的可靠伙伴。 概览 Omega/Theta XRD是一款具备前瞻性且非常可靠的工具， 用于在多变的半导体领域确定晶体取向，其市场领先的精度、极快的测量速度和高端的构建质量与自动化的力量相结合，能够确保满足任何工艺流程的需求。Omega/Theta XRD在晶体定向和对准方面具有无与伦比的效率和精度，非常适合生产和研究应用。 特点和优点 采用专有扫描技术实现高速高精度测量 我们的方法只需要一次测量即可收集所有必要的数据，从而实现完整的定向分析，在非常短的测量时间内(大约几秒钟)，即可实现高精度检测。 易于连接，可实现高级连接和自动化测量 Omega/Theta XRD 的所有测量都是自动化的，并通过方便用户使用的XRD软件进行管理。可以使用各种 MES、SECS/GEM 和类似接口轻松将该仪器集成到生产环境中的现有工艺流程中。 方便、灵活的样品分析 我们的各种配件提高了Omega/Theta XRD在不同应用中的生产效率，从子晶钻孔、研磨、切片，一直到最终的晶圆几何形状控制-即使这些需求会随着时间的推移而变化，设备也能够完全兼容。附件包括: 全自动X-Y面扫样品台，在用户定义的区域内对晶体取向和表面畸变进行扫描 用于在锯切前对准晶棒的堆垛台 用于质量测量的摇摆曲线工具 附加样品旋转轴 照相机和图像处理 用于测量样品形状的激光扫描仪 样品调整设备 还有更多的定制工程解决方案！