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增量线性编码器 BH25 series
光学非接触式开型

增量线性编码器 - BH25 series - Magnescale Europe GmbH - 光学 / 非接触式 / 开型

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产品规格型号

类型

增量

所用技术

光学

机械特性

非接触式, 开型

输出信号

模拟, 数字, 正弦, RS-422

其他特性

紧凑型, 高精度, 高解析度, 高速, 带玻璃分划尺, 带外部转换电路

分辨率

最多: 62 nm

最少: 0.01 nm

线性编码器速度

最多: 1,800 mm/s

最少: 0 mm/s

工艺温度

最多: 30 °C
(86 °F)

最少: 10 °C
(50 °F)

产品介绍

信号波长为250nm的高精度反射式激光尺。非常适合薄工作台，半导体后处理设备和精密显微镜信号波长：250nm 高精度：±1μm/420mm 高速响应：1,800mm/s 最大分辨率：3.8pm 产品阵容：带原点，无原点完全非接触：原理上不存在返回误差栅尺部分：ZERO玻璃，无碱玻璃厚度：12mm的薄型读头支持各种分辨率和输出格式 (BD96，BD700等，取决于内插盒) 可支持真空 (特殊规格产品)