高速和高分辨率,同时保持稳定的超精密测量。是精密平台、半导体检测/制造系统和超精密加工机器的理想选择。
高分辨率刻度,信号间距约为138纳米,优于光波干涉仪系统
高稳定性,不受湿度、气压和空气干扰的影响
参考点精度:±0.1µm
刻度精度:±0.04µm(测量长度:40mm)
非接触设计消除了回波误差。
测量长度:40至420mm,9种类型(-R/-RS)
测量长度:10至420mm,10种类型(-N/-NS)
可提供特殊的非磁性和真空兼容的型号
使用低膨胀玻璃。 -0.7 x10-6 °C (测量长度: 10 to 420mm)
分辨率:2.1 pm
---