增量线性编码器 BS78
光学非接触式开型

增量线性编码器
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产品规格型号

类型
增量
所用技术
光学
机械特性
非接触式, 开型
输出信号
模拟, 数字, 正弦
应用
工业, 线性发动机式
其他特性
紧凑型, 高精度, 高解析度, 带玻璃分划尺, 高速
分辨率

最多: 0.1 µm

最少: 0.01 µm

线性编码器速度

最多: 400 mm/s

最少: 0 mm/s

工艺温度

最多: 30 °C
(86 °F)

最少: 10 °C
(50 °F)

产品介绍

高速和高分辨率,同时保持稳定的超精密测量。是精密平台、半导体检测/制造系统和超精密加工机器的理想选择。 高分辨率刻度,信号间距约为138纳米,优于光波干涉仪系统 高稳定性,不受湿度、气压和空气干扰的影响 参考点精度:±0.1µm 刻度精度:±0.04µm(测量长度:40mm) 非接触设计消除了回波误差。 测量长度:40至420mm,9种类型(-R/-RS) 测量长度:10至420mm,10种类型(-N/-NS) 可提供特殊的非磁性和真空兼容的型号 使用低膨胀玻璃。 -0.7 x10-6 °C (测量长度: 10 to 420mm) 分辨率:2.1 pm

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PDF产品目录

* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。