隔膜流量调节器 3200 质量用于气体
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产品规格型号
- 所用技术
- 质量, 隔膜
- 液体类型
- 用于气体
- 压力
最多: 300,000 Pa
(44 psi)最少: 50,000 Pa
(7 psi)
产品介绍
MODEL 3200系列是新型质量流量控制器，是3910系列的后续产品，已在半导体，液晶，燃烧，分析和生物等广泛领域得到验证。
它是一种适用于新Cofflock标准的高性能型号。
配备温度跟踪式电流差检测型流量传感器，实现高精度，高速响应
采用常闭阀门，方向操作安全
采用隔膜阀，减少死体积
F.1. SCCM分钟流量支持（SR选项）
低压差兼容燃气控制（LP选项）
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