质量流量调节器 5100 用于气体不锈钢模拟
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产品规格型号
- 所用技术
- 质量
- 液体类型
- 用于气体
- 其他特性
- 模拟, 工业, 不锈钢
- 压力
最多: 300,000 Pa
(44 psi)最少: 50,000 Pa
(7 psi)
产品介绍
5100系列是一款质量流量控制器，它实现了无焊接结构（VCR规格），金属密封的基本性能，以及半导体工艺气体控制所需的±1％精度。
板载传感器的响应能力。它具有出色的分辨率，可以处理1 sccm（N2）的微流量。
• 通过使用温度跟踪型电流差检测流量传感器实现高精度，高速传感器响应
• 采用电磁铁电磁阀常闭阀
• 由于无焊接结构（VCR规格），金属密封，泄漏低
• 采用隔膜阀，减少死体积
• 面对面，体型和接线连接与其他公司的更换兼容
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