光学测量系统 Therma-Probe® 680XP

离子掺杂量测系统 Therma-Probe®680XP 离子注入/退火量测系统可对2Xnm / 1Xnm设计节点进行在线剂量监测。 Therma-Probe 680XP可以提供关于离子注入剂量和轮廓、注入和退火均匀性以及范围损坏的关键工艺信息。 此外，Therma-Probe 680XP系统的高分辨率微均匀性图为注入和退火工艺开发提供了指纹识别功能。