线性电机驱动线性轴

伺服电机式精准

精密轴为花岗岩梁，具有高精度的精密轴。整套系统包括一个适用于各种现场总线（EtherCAT、Profinet、CAN、...）的伺服控制器。该轴适用于晶圆检测、扫描仪、测量等高精度应用场合，适合。 - 花岗岩梁，轴线高度精确 - 包括各种现场总线（EtherCAT、Profinet、CAN等）的伺服控制器在内的完整系统。 - 高精度应用（晶圆检查、扫描、测量）。 要求 - 全表面安装在机器框架上 - 包括能量链和组装好的电缆组 - 作为一个完全组装和调试的轴系统交付。 - 在±2K恒温下保证精度 执行情况 - 为客户的特定需求而开发 - 带精密导轨的无铁直线电机 速度：最大500毫米/秒 加速度：最大1米/秒² 重现性：0.5微米。 定位精度：5 µm 定位分辨率：0.1 µm0.1 µm 重复性（侧面）：5 µm 重复性（高度）：1 µm 负荷：最大1公斤