线性电机驱动线性轴

精准用于无菌室

概述 直线电机轴采用移动磁铁原理（带有测量头的线圈单元是固定的，磁轨通过测量系统移动滑块）。 用于光学器件的定位 要求 在无尘室中使用ISO 100级--电缆无磨损。 用于每周7天3班制作业。 非常高的机械精度 温度稳定性：22°C ±2°。 执行情况 用于所有滑块的通用循环直线球轴承。 根据导向器的热膨胀系数选择底板材料。 结构和驱动装置相互抵消--以优化总长度。 规格 加速度：最大。 3.000毫米/秒 速度：400毫米/秒 每张幻灯片的高度误差：≤1 µm 每张幻灯片的横向误差：≤1 µm 幻灯片之间的最大高度误差。100 µm 最大滚动误差、偏航误差、倾角误差：≤±100 µrad。 行程50毫米（更多可能） 测量系统的分辨率：0.05微米（50纳米）。0.05 µm (50 nm) 运动方向的可重复性。<0.5微米