光谱仪 Moduli | RF Spectrometer

Moduli | RF 光谱仪 无创故障检测和室内健康监测 RF 光谱仪是一种射频 (RF) 检测器，可直接从等离子体室外监测等离子体的电状态。 该器件专为生产工具上的故障检测而设计，无需在射频路径中使用在线传感器。 它已被证明能够检测空气泄漏、晶圆位移和其他严重的等离子体故障。 RF 光谱仪是一种射频 (RF) 检测器，可直接从等离子体室外监控等离子体的电气状态。 该器件专为生产工具上的故障检测而设计，无需在射频路径中使用在线传感器。 它已被证明能够检测空气泄漏、晶圆位移和其他严重的等离子体故障。