电压测量仪器 Octiv Poly 2.0 VI Probe

AC 电流阻抗RF 无线电频率

Octiv Poly VI 探头是一款多频在线 RF 电压、电流和相位测量系统。 该器件可以同时测量多个基本频率及其谐波并具有 1% 的精度，时间分辨率为 1μs。 VI 探头可以同时检测和测量多达 5 个基本频率及其所有组件（电压、电流、相位角和谐波等）。 VI 探头测量电压、电流、相位、阻抗及谐波测量，测量结果可从 PC 或直接到仪表单元。 Octiv Poly 系统允许用户测量一些基本频率，同时提取每个参数的所有谐波信息。 Octiv Poly VI 探头是一款精密的功耗和阻抗传感器，通常位于匹配后单元。 它用于测量等离子体工艺等应用中的负载阻抗。 它监视多个基本频率及其谐波的电压、电流和相位。 Octiv Poly VI 探头非常适合精确监控双频和三频等离子体系统。 Octiv Poly 的功率范围为 0 至 12kW，并在 5 个不同的频率下进行校准：2 兆赫 | 13.56 兆赫 | 27 兆赫 | 40.68 兆赫 | 60 兆赫。 该系统具有频率敏捷性，可以检测其他频段。 Octiv Poly 是一款高精度、高分辨率传感器和高速数据采集单元。 Octiv Poly 是脉冲应用中唯一具有微秒分辨率的精密功耗和阻抗传感器。 Octiv Poly 采用独特的专利的 VI 探头技术，设计用于在同时多频应用中实现可靠运行，具有敏捷的频率调谐功能。