电压测量仪器 Industrial Octiv Poly 2.0 | VI Probe

AC 电流阻抗RF 无线电频率

Octiv VI 探头系统是一款在线射频电压、电流和相位角测量系统。 它能够以 1% 的精度和 1μs 的时间分辨率测量单个基本频率及其谐波性能。 每个系统都有一个下拉菜单，有 5 个基本频率可供选择。 它测量电压、电流、相位角、阻抗和谐波和测量，测量结果可以从 PC 或直接到仪表单元进行查看。 Octiv VI 探头系统允许用户从五个下拉菜单中选择单个基本频率，并提取每个测量参数的所有谐波信息。 Octiv VI 探头是单频率阻抗传感器，通常位于匹配单元之后。 它用于测量等离子体工艺等应用中的负载阻抗。 该器件可监控单个基本频率的电压、电流和相位及其谐波特性。 Octiv VI 探头是精确监测单等离子体系统的理想选择。 Octiv VI 校准为五个基本频率：2 兆赫 | 13.56 兆赫 | 27 兆赫 | 40.68 兆赫 | 60 兆赫，功率范围从 0 到 12 千瓦。