单传感器分析仪 Semion

用于等离子反应器工艺流程迟滞电场

塞米纳单传感器是一款减速场能量分析仪（RFEA）。 它放置在等离子反应器内的任意位置，使用单个测量传感器测量离子撞击表面的能量。 该减速场分析仪 (RFA) 是测量离子能量分布功能的基本等离子体诊断仪，同时测量离子通量、负离子、温度和偏置电压 (Vdc)。 Sememon 系统允许在基材位置实时进行现场过程监测、模型确认、新工艺开发和研究应用。 S@@ emion 有时称为减速电位分析仪，可测量离子能量，并在等离子反应器内基板位置产生离子能量分布函数（IEDF）、离子通量、负离子、温度和 Vdc。 Semion 减速场能量分析仪 (RFEA) 广泛应用于多个行业和研究领域，如等离子体蚀刻、涂层、等离子溅射、PECVD 和离子束。 Semon Single Sensor 是关键的等离子体诊断仪器，可以确认模型，帮助新工艺开发和实验，使用等离子体、等离子体工具设计和等离子体研究。 S@@ emon Single Sensor 减速现场能量分析仪包括一个可更换的按钮探头传感器，安装在传感器支架上，该传感器连接到真空馈通，该真空馈通由 19 英寸机架安装电子装置供电。