高压气体存储系统 JW-300-BSGS

产品概述
Jewellok 专注于全自动和半自动 GC 气体柜、BSGS 气体柜、VMB 气体柜、TMA 气体柜、洗涤器尾气处理柜、气体分配柜、VDB 与 VDP 气体柜，适用于 SiH4、NF3、NH3、N2O、HCl 等特种气体。

应用
大宗特种气体系统（BSGS）在半导体制造、医药和化工等行业中，对于提供高纯度特种气体至关重要。该系统通过专用气体柜与尾气处理设备，确保安全、高效且无污染地将气体输送到使用点。

气体柜
气体柜是用于存储和供应用于敏感工艺的高纯度特种气体的工程封装。主要特性包括自动切断阀、泄漏检测传感器、通风系统、高级材料（如不锈钢）、防污染的先进过滤，以及监控压力、流量与纯度的自动控制系统。气体柜集成了安全机制，如防爆门与观察窗、泄漏报警、远程切断、负压报警、自动置换与通风切换等。

洗涤器尾气处理柜
洗涤器尾气处理柜用于处理 BSGS 的排气，在排放前中和或去除有毒、腐蚀性或对环境有害的副产物。湿式洗涤采用液体溶液捕获并中和酸性或反应性气体；干式洗涤采用化学介质吸附或与危险化合物反应。先进设计采用实时监测以优化效率并支持环境合规性。

系统协同
BSGS 气体柜与洗涤器尾气处理柜协同工作，以安全且可持续的方式提供高纯度气体。集成的监测与控制确保在关键工业应用中的运行效率、安全性和环境合规。

技术参数
Model: JW-300-BSGS
规格: W800×D633×H2172
特种气体柜尺寸：控制电源：220VAC，50Hz，500W；加热电源：220VAC，50Hz，1–6KW（如配置）
控制柜连接：PN2，1/4" MVCJ
置换（Purge）连接：HPN2，1/4" MVCJ
高压保持连接：GN2，1/4" MVCJ
真空连接：1/2" MVCJ
VENT 排水管驱动：CDA driver，1/4" SWG
气源（气动）能力：OD 150MM；硅烷（silane）810 m3/hr；其他气体 204 m3/hr
柜体通风与安全特性：自动切换与置换、防爆及防脱离结构、防爆自锁门、防爆观察窗、泄漏报警、远程切断、负压报警
操作界面：10 英寸彩色触摸屏

可选项

• UV/IR 火焰探测器
• Cylinder Shutboy
• 面板加热
• 以太网通信模块
• 称重传感器
• 过流量开关

技术规格

• Model: JW-300-BSGS
• 柜体外形尺寸：W800 × D633 × H2172
• 控制电源：220VAC，50Hz，500W
• 加热电源（如配置）：220VAC，50Hz，1–6KW
• 控制柜连接：PN2，1/4" MVCJ
• 置换连接：HPN2，1/4" MVCJ
• 高压保持连接：GN2，1/4" MVCJ
• 真空连接：1/2" MVCJ
• VENT 排水驱动：CDA driver，1/4" SWG
• 气源能力：OD 150MM；硅烷 810 m3/hr；其他气体 204 m3/hr
• 通风与安全功能：自动切换与置换、防爆门与观察窗、泄漏报警、远程切断、负压报警
• 操作界面：10 英寸彩色触摸屏
• 典型适用气体：SiH4、NF3、NH3、N2O、HCl 及其他特殊工艺气体