气体压力控制器 GR-300

晶圆背面冷却系统 GR-300系列可以控制用于冷却由静电卡盘系统固定位置的晶圆背面的气体。 GR-300的稳定性和准确性使其成为控制晶圆冷却系统中氦气和氩气流量的理想选择。 更加稳定和精确的压力控制 质量流量传感器（选项 兼容各种配件 符合RoHS标准 在下面的例子中，GR-300系列正在控制用于冷却由静电卡盘系统固定位置的晶圆背面的气体。