数字溶解氧传感器 HD-960LR

工艺流程

扩大与化学品的兼容性，为提高半导体制造的良品率做出贡献 HORIBA Advanced Techno, Co., Ltd.开发并于2021年7月1日开始销售HD-960LR，这是一款面向半导体和半导体制造设备制造商的新型溶解氧监测仪。 最近，半导体的小型化和性能增强，使半导体制造过程中使用的化学品多样化，每一种化学品都需要适当管理。这种新的溶解氧监测器在半导体制造过程中连续监测化学品的溶解氧含量，精确度极高。增加一个新的内部传感器机制可以抑制电解质的降解，甚至扩大了对氨水和特定有机溶剂的兼容性。此外，采用这种新机制实现了业界一流的传感器更换周期，大约为一年。与我们的传统产品相比，HD-960LR在超纯水方面的传感器寿命延长了约1.3倍，在氨水方面延长了70倍。更长的传感器更换间隔时间有助于推动运营效率。 HORIBA集团将继续响应广泛的客户需求，为提高半导体制造的良品率作出贡献。 在半导体制造过程中，即使是纳米级的污染物，也有可能导致半导体故障的发生。