脉冲激光源 HPF-50-IR

飞秒超短脉冲固态

机器特性

• 飞秒脉冲
• 高脉冲能量与高峰值功率
• 接近衍射极限的光束质量
• 高稳定性与可靠性

应用
本激光器采用先进的啁啾脉冲放大（CPA）技术，输出接近衍射极限的飞秒激光。已在半导体与消费电子行业广泛应用，用于实现精密微加工和稳定的工艺性能。

• 切割、钻孔与划片（玻璃、硅、陶瓷、柔性印刷电路板）
• 薄膜图案化（金属、薄膜）
• 标刻（玻璃、硅、陶瓷、金属、塑料）

技术规格表
工作模式：Pulse
平均功率（W）：50 W @ 600 kHz（可选：20 W @ 100 kHz）
中心波长（nm）：1030
线宽（nm）：<3（3 dB）
重复频率（kHz）：50-2000（可调）
脉冲宽度（fs）：600-30000（可定制）
单脉冲最大能量（µJ）：200
功率调节范围（%）：0-100
响应时间（µs）：<100
光束质量（M2）：≤1.3
功率稳定性（%）：≤2（24 h）
光斑尺寸（mm）：2.5±0.3（1/e2）
光斑椭圆度（%）：>90（典型 93%）
光束偏移（mm）：<1.0
光束发散角（mrad）：<0.5

特性 / 技术规格

• 工作模式：Pulse
• 平均功率：50 W @ 600 kHz（可选：20 W @ 100 kHz）
• 中心波长：1030 nm
• 线宽：<3 nm（3 dB）
• 重复频率：50-2000 kHz（可调）
• 脉冲宽度：600-30000 fs（可定制）
• 单脉冲最大能量：200 µJ
• 功率调节范围：0-100%
• 响应时间：<100 µs
• 光束质量（M2）：≤1.3
• 功率稳定性：≤2%（24 h）
• 光斑尺寸：2.5±0.3 mm（1/e2）
• 光斑椭圆度：>90%（典型 93%）
• 光束偏移：<1.0 mm
• 光束发散角：<0.5 mrad