脉冲激光源 NPFL-80IR-1.01

亚纳秒光纤红外

设备特性

• 亚纳秒脉冲（0.1–0.2 ns，可定制）；接近衍射极限的光束质量（M2 ≤1.5）；单脉冲最大能量 0.8 mJ
• 全光纤光学结构，提供稳定输出（功率稳定度 ≤3 %，24 h）并在半导体与光伏加工中提升加工性能
• 可调重复频率 100–2000 kHz，功率调节范围 0–100 %，满足工艺灵活性
• 结构紧凑、响应快速（<100 μs），光束参数可控（光斑尺寸 3.0±0.2 mm，椭圆率典型 92 %）

应用

• 玻璃、硅、陶瓷的切割、打孔与划线
• 金属与薄膜的薄膜图案化与微结构加工
• 在玻璃、硅、陶瓷、金属及塑料上的永久标记

技术资料
机器型号：Infrared Sub-nanosecond Laser NPFL-80IR-1.01
工作模式：脉冲式
平均功率 (W)：80
中心波长 (nm)：1064
光谱线宽 (nm)：<30；3 dB 带宽
重复频率 (kHz)：100-2000；可调
脉冲宽度 (ns)：0.1-0.2 ns；可定制
最大单脉冲能量 (mJ)：0.8
功率调节范围 (%)：0-100
响应时间 (μs)：<100
光束质量 (M2)：≤1.5
功率稳定度 (%)：≤3 %；24 h
光斑尺寸 (mm)：3.0±0.2；1/e2
光束椭圆率 (%)：>90；典型 92 %
光束偏移 (mm)：<1.0
光束发散角 (mrad)：<0.5

技术规格

• 型号：NPFL-80IR-1.01
• 模式：脉冲式
• 平均功率：80 W
• 波长：1064 nm
• 光谱线宽：<30 nm（3 dB）
• 重复频率：100–2000 kHz（可调）
• 脉冲宽度：0.1–0.2 ns（可定制）
• 最大单脉冲能量：0.8 mJ
• 功率调节：0–100 %
• 响应时间：<100 μs
• 光束质量 (M2)：≤1.5
• 功率稳定度：≤3 %（24 h）
• 光斑尺寸：3.0 ±0.2 mm（1/e2）
• 椭圆率：>90 %（典型 92 %）
• 光束偏移：<1.0 mm
• 发散角：<0.5 mrad