紫外线可见小型分光计 C16767MA

紫外线CMOS半导体工业

概述
C16767MA是一款针对紫外波段（190–440 nm）优化的高灵敏度超小型光谱仪头，支持从深紫外到近紫外的测量，适用于集成到紧凑或移动的测量设备中。

特性

• 指尖尺寸：20.1 × 12.5 × 10.1 mm
• 重量：5 g
• 光谱响应范围：190–440 nm
• 针对UV测量的高灵敏度
• 光谱分辨率：最大 8 nm，典型 5.5 nm（FWHM）
• 支持同步积分（电子快门功能）
• 适合集成到移动测量设备
• 波长换算系数在最终检验单上注明

应用 / 使用示例

• 水质分析（测量示例：硝酸、亚硝酸、BOD）
• 大气分析（NO、SO2 等）
• UV‑LED 及紫外波段监测：UV‑A、UV‑B、UV‑C
• 半导体工艺监测（等离子体、气体等）

技术与结构
C16767MA系列采用通过刻蚀工艺制成且带有集成狭缝的CMOS线性图像传感器，以及通过纳米压印光刻制造的反射凹面衍射光栅。图像传感器经过UV耐受性增强，并在传感器上通过专有光电半导体工艺形成抑制杂散光的滤光层，以减小衍射产生的杂散光。

附加技术说明
模块为非制冷型，采用带狭缝的一维CMOS图像传感器；像素总数：288。除非另有说明，测量条件：Ta = 25 °C。

技术参数

• 光谱响应范围：190–440 nm
• 光谱分辨率（FWHM）（典型）：5.5 nm
• 光谱分辨率（FWHM）（最大）：8 nm
• 制冷：无制冷
• 内置传感器：带狭缝的CMOS线性图像传感器
• 像素总数：288 像素
• 测量条件：典型 Ta = 25 °C（除非另有说明）
• 尺寸：20.1 × 12.5 × 10.1 mm
• 重量：5 g
• 支持同步积分（电子快门）