磨削主轴 DQFX-16506

电动水冷

概述
DQFX-16506 是一款半导体研削主轴，主轴机身直径 Φ165 mm，可在最高 6,000 rpm 转速下支持 200 mm（8 inch）砂轮。其连续输出（S1）为 8.5 kW，连续扭矩（S1）为 13.5 N·m，振动速度保持在 ≤ 0.15 mm/s。采用气体轴承和水冷设计，同步电机驱动；换刀方式为手动。

主要参数
直径：Φ165 mm
最高转速：6,000 rpm
砂轮：200 mm（8 inch）
连续功率（S1）：8.5 kW
连续扭矩（S1）：13.5 N·m
振动速度：≤ 0.15 mm/s
重量：79.5 kg

技术规格

• 型号：DQFX-16506
• 主轴机身直径：Φ165 mm
• 支持砂轮：200 mm（8 inch）
• 最高转速：6,000 rpm
• 连续功率（S1）：8.5 kW
• 断续功率（S6）：12.75 kW
• 连续扭矩（S1）：13.5 N·m
• 峰值扭矩（S6-40%）：20.3 N·m
• 电机类型：同步电机
• 轴承类型：气体轴承
• 最大电气频率：400 Hz
• 额定电压：220 V
• 额定电流 S1：27 A
• 额定电流 S6：40.5 A
• 气源流量：76–84 L/min（0.6 MPa）
• 冷却：水冷，流量 ≥ 2.5 L/min
• 电机温度传感器：KTY84-130
• 换刀方式：手动
• 振动速度：≤ 0.15 mm/s
• 重量：79.5 kg

适用场景

• 适用于对 200 mm 以内半导体晶圆及圆盘的精密研削。
• 可集成于晶圆加工生产线、研发研削工位及需要低振动、高稳定性的精密研削设备中。
• 要求压缩空气 76–84 L/min（0.6 MPa）及水冷流量 ≥ 2.5 L/min。