加工主轴 DQFH-02440/2.5

电动水冷手动变动式

概述
在 Φ82 mm 切割主轴系列中，DQFH-02440 以提高持续输出为设计重点，而非追求最高转速。S1 工况下输出 3 kW 和 0.6 N·m，采用气体轴承、同步电机与水冷系统，适用于工业级晶圆切割（dicing）应用。

主要参数
直径：Φ82 mm
最高转速：40,000 rpm
功率（S1）：3 kW
功率（S6 40%）：4.5 kW
扭矩（S1）：0.6 N·m
扭矩（S6 40%）：0.9 N·m

技术参数
主轴型号：DQFH-02440/2.5
刀具接口：通用 dicing 刀片
轴承类型：气体轴承
最高频率：666.7 Hz
电机系统：同步电机
额定电压：220 V
额定电流 S1 100%：8.8 A
额定电流 S6 40%：13.2 A
气体流量（气轴承）：72–90 L/min
冷却系统：水冷（冷却流量 ≥ 2 L/min）
电机温度传感器：KTY84-130
换刀方式：手动
振动速度：≤ 0.3 mm/s
重量：10.8 kg

尺寸
产品页面的文档中提供尺寸图纸。

应用
用于晶圆切割（dicing）与芯片/器件分割，在半导体、MEMS 及微加工领域需要持续功率输出与精密主轴控制的场景。

特性 / 技术规格

• 主轴型号：DQFH-02440/2.5
• 直径：Φ82 mm
• 最大转速：40,000 rpm
• 刀具接口：通用 dicing 刀片
• 轴承类型：气体轴承
• 电机系统：同步电机
• 额定电压：220 V
• 输出功率 S1 (100%)：3 kW
• 输出功率 S6 (40%)：4.5 kW
• 输出扭矩 S1 (100%)：0.6 N·m
• 输出扭矩 S6 (40%)：0.9 N·m
• 额定电流 S1 (100%)：8.8 A
• 额定电流 S6 (40%)：13.2 A
• 最大频率：666.7 Hz
• 气体流量：72–90 L/min
• 冷却：水冷（流量 ≥ 2 L/min）
• 电机温度传感器：KTY84-130
• 换刀方式：手动
• 振动速度：≤ 0.3 mm/s
• 重量：10.8 kg