高温分解探测模块 Py-ReX

气体电气化学

Py-ReX 热解器模块是 D-ReX PoS 气体检测仪的附加组件，它使用内置泵进行萃取气体检测。与 Py-ReX 结合使用时，D-ReX 可以检测毒性太强或化学性质太弱而无法直接测量的气体。 使用热解器进行气体检测 热解器的使用扩展了半导体制造中气体检测的可能性，有助于遵守严格的质量标准和优化制造工艺。 对于任何需要测量毒性太强或电化学活性太低而无法直接测量的气体的工艺，热解器都是必不可少的。Py-ReX 是在 D-ReX PoS 功能的基础上开发出来的，用于在萃取模式下检测此类气体。它安装在采样点和气体检测仪之间。需要测量的气体在到达 D-ReX 内部的传感器之前，会通过泵被导入热解器，在热解完成后进行测量。 热解器如何工作？ 热解器将原始气体（目标气体）溶解为可测量的气体（被测气体）。要测量某些气体，这一步骤必不可少，因为不经过这一步骤就无法检测到这些气体。测量气体的浓度可以用来计算目标气体的浓度。 Py-ReX 是一种灯丝热解器。石英玻璃管中的灯丝被加热到根据目标气体精确调节的特定温度。目标气体与灯丝接触后会分解成被测气体，然后通过气体检测器中的电化学智能传感器进行检测。