半导体检查气体监控装置 D-ReX PoS²

工业用途用于加工过程监督用于检测

Overview
D-ReX PoS² 是为半导体制造环境设计的紧凑型气体检测系统。其内置泵可从采样点（PoS）抽取样气，采样距离可达约30米，支持壁挂或DIN导轨安装。连接选项包括以太网供电（PoE）、4–20 mA 和 Modbus（RS-485）。

USPs

• 免工具维护：前面板可无工具打开，便于快速访问传感器盒和泵机构。
• 远程采样：内置泵和采样管路功能适用于受限空间和分布式采样点。
• 灵活集成：支持 PoE、4–20 mA 和 Modbus（RS-485），便于接入上级控制系统。

Features

• 可选的管路完整性监测
• 大型2.4"彩色TFT显示屏，显示气体识别、浓度和设备状态
• 三个内部可编程单刀转换继电器
• 通信：以太网（PoE）、4–20 mA、Modbus（RS-485）

Designed for semiconductor fabs
设备支持从管道、气体分配系统、贮存区、洗涤器和洁净室等位置采样。需热解的气体可选配 Py‑ReX 模块。传感器盒为预配置可更换设计；更换磨损件时传感器盒和泵电子部分可重复使用。

Information & operation
2.4"显示屏以明文显示气体类型、测量浓度、设备状态及故障信息。三个内部继电器可编程以触发外部报警或安全动作。网络运行通过支持 PoE 的 LAN（10/100 Mbit/s）和 Modbus（RS-485）实现；模拟输出为 4–20 mA。

Detectable semiconductor process gases (typical)
氨（NH3）、氯化氢（HCl）、氟化氢（HF）、氢气（H2）、硅烷（SiH4）、二氯硅烷（DCS）、砷化氢（AsH3）、磷化氢（PH3）、二硼烷（B2H6）、硒化氢（H2Se）、锗烷（GeH4）、三氟化氯（ClF3）、氟（F2）、臭氧（O3）、溴化氢（HBr）、氰化氢（HCN）、六甲基二硅胺（HMDS）、四乙基正硅酸酯（TEOS）。

Technical specifications

• Model: D-ReX PoS²
• Sampling: 内置泵，支持采样管路（最长约30 m）
• Installation: 壁挂或DIN导轨安装
• Service: 前面板免工具开启；传感器盒和泵机构免工具更换
• Sensors supported: 电化学、催化、红外、PID（预配置传感器盒）
• Display: 2.4" 彩色 (TFT)
• Relays: 三个内部可编程继电器（单刀转换）
• Analog output: 4–20 mA
• Digital communication: Modbus（RS-485）
• Network / Power: Power over Ethernet（PoE）、Ethernet 10/100 Mbit/s
• Optional: Py‑ReX 热解模块；可选管路完整性监测