气体样本包装系统 Py-ReX

概述
Py-ReX 是用于 D-ReX PoS 的丝状加热裂解（热解）模块，可作为附加模块实现对过于有毒或电化学上不活性的气体的提取式检测。该模块使用 D-ReX PoS 的内置泵将气体样品抽过石英管内的加热丝，将目标气体转化为可被电化学智能传感器检测的可测物种。

使用热解器进行气体检测
Py-ReX 安装于采样点与气体检测器之间。D-ReX PoS 的泵将样品抽入热解器，完成热解后被转化的气体输送至 D-ReX 传感器进行分析。该配置可扩展 D-ReX PoS 的可检测气体范围，适用于工艺监控与安全应用。

热解如何工作？
石英玻璃管内的加热丝被加热至针对特定气体的温度。目标气体与加热丝接触后发生分解（热解），生成可测物种。通过测量该生成物的浓度并结合校准参数，可以推算原始目标气体的浓度。

可检测的气体
Py-ReX 主要针对半导体制造等工业过程使用的含氟惰化气体进行优化，也可检测某些非氟惰性气体（例如 1,2-二氯乙烯）。典型测量对象包括由 C2H2Cl2、C4F6、C5F8、CH3F、NF3、SF6 等气体转换得到的生成物。

简要：设备与特性

• 热解方法：丝状热解（石英管内加热丝）
• 工作方式：使用 D-ReX PoS 内置泵进行提取式取样
• 通讯：4-20 mA 输出
• 状态指示：双色状态 LED
• 安装：DIN 导轨外壳（TS35）
• 最大样品管长度：最长可达 30 m
• 加热电流监控：在 D-ReX PoS 上可用
• 可选：通过 D-ReX PoS 提供线路完整性监控

测量气体（示例）
C2H2Cl2 — 1,2-二氯乙烯 (DCE); C4F6 — 六氟丁二烯; C5F8 — 八氟环戊烯; CH3F — 氟甲烷; NF3 — 三氟化氮; SF6 — 六氟化硫

技术规格 / 特性

• 设计为 D-ReX PoS 的附加模块，使用检测器内置泵进行提取式取样
• 丝状热解器：石英管内加热丝，根据气体特性进行温度控制
• 安装位置：采样点与气体检测器之间
• 将目标气体转化为可测气体；通过测得浓度计算目标气体浓度
• 通讯输出：4-20 mA
• 视觉指示：双色状态 LED
• 外壳：DIN 导轨（TS35）
• 最大取样管长度：最长可达 30 m
• 加热电流监控已在 D-ReX PoS 上实现
• 可选线路完整性监控在 D-ReX PoS 上可用
• 应用重点：主要针对半导体制造中的含氟惰化气体；亦适用于部分非氟惰性气体