自动存储和搬运系统 EUV

Fabmatics 的这些 EUV 粒子处理系统可满足 EUV 粒子处理的可靠性和清洁度等要求。 作为一种用于制造高端微电子结构元件的特殊照明技术，EUV 技术为处理 EUV 光罩时的可靠性和清洁度设定了最高标准。Fabmatics 解决方案符合这些标准。EUV 网罩处理系统可作为独立设备（如网罩分拣机）和设备前端模块（如装载系统）使用。用于 RSP 吊舱和双吊舱的 Fabmatics 装载端口、各种检测模块、夹具和翻转设备都是这里的重要组件。