自动化装载系统 ACH-LUNA

Fabmatics 的 LUNA 装载系统是一个机器人单元，用于在洁净室中自动处理载体。 适用于无尘室的自动装载单元 带 6 轴机器人的机器人单元是 LUNA 型（高级装载单元）自动载体处理 (ACH) 的核心元件。LUNA 系统可根据具体设置条件进行单独调整，但以标准化模块为基础。 可能的变体包括带直立式机器人的解决方案、带悬挂式机器人的解决方案、带集成式批次堆放区的解决方案、SECS、E23 和 E84 接口，以及许多选件，如 Manuport、RFID 阅读器、装载口监控和基于摄像头的图像处理控制技术。