多轴定位系统 TELICA

门式半导体工业高精度

TELICA是多轴运动平台，主要用于半导体后段。双龙门系统架构提供X轴、Y和Z轴3自由度的运动能力，共达8个控制轴。该系统满足先进固晶制程（倒晶封装、扇出、3D堆叠封装）、µ-LED固化、点胶等高难应用的要求。 在传统运动系统架构设计中，系统优化仅针对高精定位或高产要求。获益于极富创新的运动系统架构，TELICA能同时满足高精度与高产能的要求，在典型的倒晶封装产能达10 kUPH和µ-LED固化产能达180 kUPH的情况下，精度能达到±1 µm的全局贴片精度（盲动）。 TELICA包括两个标准版：版本1适用于圆晶级封装（WLP），行程为X410 x Y445 x Z30 mm，版本2为面板级封装（PLP），行程为X750 x Y800 x Z30 mm。 TELICA采用全新计量技术，显著减少阿贝误差和工艺工具与基体间的相对定位误差。多维编码器确保贴片的高精度，而水冷铁芯电机允许极高的负荷周期。 结合ETEL先进的AccurET控制单元，TELICA平台提供多个特色控制功能：例如零稳定时间、非线性控制、先进的前馈和轨迹过滤器、所有轴的纳秒级同步、特有的龙门控制算法、多维度mapping、基于真实mapping位置触发的先进能力、用于优化控制的先进软件诊断工具和系统频谱分析工具。