堆叠式结构定位系统 CHARON2

3轴6轴单轴

CHARON2 是我们最受欢迎的运动系统平台。通过其坚固可靠的堆叠结构，以及模块化和可扩展性设计，它被公认为是许多交钥匙运动解决方案的高性价比切入点。 CHARON2 系列有多种预定义配置，从单 X 轴到完整的 6 自由度 (DOF) 运动系统。从我们的标准电子元件中进行选择，可使 CHARON2 系统在性能上进行扩展，以最好地满足目标规格。 CHARON2 在现场运行的平台超过 3000 台，可满足所有半导体应用以及医疗、制药或材料科学等其他市场的许多用例。 凭借电机、电子和控制方面的专有 IP，CHARON2 在优化的占地面积内实现了 ±1 µm 级的位置精度、出色的双向可重复性和高动态性能，充分展示了 ETEL 世界一流的创新和专业能力。 特点 标准行程为 365 x 355 毫米和 475 x 410 毫米 占地面积小，设计紧凑，适合空间有限的应用场合 多达 6 个自由度 有效载荷高达 30 公斤 卡盘水平内置真空供应和客户信号电缆 主要特点如下 纳米级位置稳定性 确保长时间精确定位。 ISO2 无尘室兼容性 适用于有严格洁净度要求的受控环境。 通过 Z3TM+ 组合模块进行倾角校正 可进行精确调整，实现最佳定位。