二氧化碳气体净化器 Aeronex® SK Series
氧气

二氧化碳气体净化器 - Aeronex® SK Series - Entegris - 氧气
二氧化碳气体净化器 - Aeronex® SK Series - Entegris - 氧气
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产品规格型号

净化气体类型
二氧化碳, 氧气

产品介绍

“ Aeronex® SK系列-气体净化了:氨(NH3) 在归属的低成本的连续的超纯NH3气体 去除气体污染物例如H2O,二氧化碳和O2,对在氨气体的子ppb水平 自再生净化器提供最便宜归属并且消灭环境问题 完全自动地工作节省时间,增加可靠性 系统运行在周围温度并且是领域retrofittable入与低压下落的现有的线 系统为120个SLM对了估计或者300个SLM纯净的气体流程 被净化的气体: NH3 中型: 无机 被去除的污染物: H2O、二氧化碳和O2 出口纯净: 1部分每十亿(ppb) 工作压力范围: 515-1825 kPa (60-250 PSIG) 降压: 在120 PSIG入口和最大额定的流程的15 PSI 最大流率: 120 SLM或者300 SLM 气体操作温度: 对+60°C的-40°C (- 40°F到+150°F) 出口滤清: 0.003微米@ 99.9999999%效率 泄漏规定值: 1 × 10-9 atm cc \ /sec. \ /html”

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