气体过滤器 Wafergard® II SF

颗粒隔膜高效

“ Wafergard® II SF微型XL轴向气体过滤器 超纯气体冷却系统滤清的优越属于颗粒的滤清 给予专利的不锈钢膜提供高效率滤清 高温和动态压力应用的理想 与多数超纯半导体过程气体的优秀兼容性 为与惰性和易反应的气体的使用 典型的用途60个SLPM 材料： 滤波元件：给予专利的不锈钢膜滤器 住房：Electropolished 316L不锈钢 表面结束内部：=5 μin镭 氦气泄漏规定值：合格的2' 10-10 atm cc \ /sec。被测试的1' 10-9 atm cc \ /sec。 顺流洁净： 微粒：少于0.03微粒\ /liter (1微粒\ /ft3)很大地比0.01 μm 挥发性：=0.003 μm 操作条件： 最大入口压力：165酒吧(2357 PSI)在20°C 最大批转\ /reverse压差：140酒吧(2000 PSID) 最高运行温度：在35酒吧(500 PSI) \ /html的460°C”