颗粒过滤器 Wafergard® III NF

隔膜在线高温

“ Wafergard® III NF微轴向气体过滤器 超纯气体冷却系统滤清的优越属于颗粒的滤清 最干净，可利用多数高效率的纯金属的过滤器 给予专利的镍过滤器膜提供优越耐腐蚀性和优秀兼容性与惰性和易反应的气体。(没有推荐了为与CO、O3和低级氢化物掺杂物气体的使用。) 高温和动态压力应用的理想 材料： 滤波元件：给予专利的，被焊接的镍膜滤器。 住房：Electropolished F20不锈钢住房 表面结束内部：=5 μin镭 氦气泄漏规定值：合格的2' 10-10 atm cc \ /sec。被测试的1' 10-9 atm cc \ /sec。 顺流洁净： Particles1：少于0.03微粒\ /liter (=0.003 μm 微粒保留： 很大地比99.9999999% (9个LRV)所有微粒撤除(参考了至多击穿的颗粒大小) 操作条件： 最大入口压力：207酒吧(3000 PSI) @100°C 最大批转\ /reverse压差：35酒吧(500 PSID) 最高运行温度：在35酒吧(500 PSI)腐蚀性和易反应的气体50°C的惰性气体400°C在70酒吧(1000 PSI) \ /html”