完整的系统包括E1100三通道控制器和MDE125 Elliot Gold™系列XYZ挠性平台,该平台装有压电式驱动器,在三个轴上各提供100微米的压电式行程,分辨率为50纳米。
- 100微米的压电调节行程
- 50纳米的分辨率
- 正交对位凹槽
E1100压电控制器:
- USB接口
- 通道:3个独立的
- 输出电压:0至150V
- 输出电流:50 mA/通道
- 输出噪音:< 50 µVRMS
- 每个通道都有数字读出
- 内部/外部电压控制
- 外部输入电压控制0至10 V
- 输出稳定性:<0.01%超过16小时
- 电源要求:
100-230 Vac 50/60 Hz
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