热量炉 JETFIRST
室式真空紧凑型

热量炉
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产品规格型号

功能
热量
配置
室式
气体环境
真空
其他特性
紧凑型, 石墨, 承压

产品介绍

ECM JetFirst RTP 系统是一种结构紧凑、坚固耐用的灯炉,适用于直径从 100 毫米到 300 毫米的各种材料基底和结构(电子级硅、钢化玻璃、SoG c-Si、III-V、II-VI、锗、石英、陶瓷等)的快速热退火 (RTA)。 该灯炉配有金属水冷反应腔,因此具有超低记忆效应。 优点 JetFirst 系统是专为满足大学和研究实验室的要求而开发的灯炉。温度测量控制系统可在整个温度范围内提供精确、可重复的热控制。灯管阵列、上法兰和石英窗口安装在一个可旋转的顶盖上,使炉腔完全开放,便于装卸晶片。 碳化硅涂层石墨感应器可用于处理各种小型样品和复合半材料。可根据要求提供备用工艺室,以避免在同一反应器中进行多个工艺时发生交叉污染。JetFirst 具有高可靠性和高性能的特点,可用于小规模生产。 该工艺可在常压或真空条件下进行。PID 系统可在整个温度范围内提供精确、可重复的热控制。RTP 工艺控制通过计算机进行,运行 PIMS 专用监控器,可对整个 RTP 系统进行配方编程和监控。

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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。