半导体测试平台 M2 Flexible Edition

产品概述
面向 KGD、封装器件和小型模块的一体化灵活平台。支持多站位超快速 AC 与 DC 测试，包括雪崩测试、短路测试、DRB 应力测试以及封装中焊点/Die-attach 的热学检查。基于 loadboard 的架构可在不同封装类型以及 pick-and-place、gravity feed 或 leadframe 手柄之间快速切换。该平台将模块化高压高流 DC 测试与动态 AC 测试集成于紧凑、易于与手柄集成的架构，面向生产环境的 24/7 持续运行设计。

选择理由

• 运维灵活：针对新器件族快速设定，针对不同封装尺寸快速重置手柄，能在常温与高温测试条件之间快速切换。适用于低产量高混合或工程/NPI 场景。M2 的模块化设计可在最小中断下重新配置测试、拓扑、发电机组合和应力条件。
• 可扩展的平台以支持增长：M2 可随生产需求扩展。通过添加 booster board 将 LV 电流测试扩展至 1,000 A。DS5 Quasar 与 DS6 Pulsar 支持动态开关测试能力扩展。
• 结果可重现：在多个制造阶段使用统一测试架构可减少关联问题，简化设置并降低操作员培训复杂度。为 KGD、封装器件与小型模块提供适用于生产的单一平台与安全性。

核心功能

• 模块化 AC+DC 测试架构，支持静态参数、动态开关性能、门极质量、雪崩与短路应力测试、DRB 应力测试和热学 die-attach 检查。
• 基于 loadboard 的方法可在封装类型与手柄接口（pick-and-place、gravity feed、leadframe strip）之间快速重工。
• 为连续高可靠性生产使用而设计，采用坚固且精确的硬件，降低维护需求。
• 适用于 SiC、GaN 与硅功率器件的 die（KGD）、封装离散器件与小型模块阶段。

功能 / 配置（概要表）
FEATURES/CONFIGURATIONS | M2 | M2 PRO | M2 Pulsar | M2 Pulsar Pro | M2 One-Test
Number of test sites | 2 DUT x 2 sites (AC + DC) | 4 DUT x 2 sites (AC + DC) | 2 DUT x 2 sites (AC + DC) | 4 DUT x 2 sites (AC + DC) | 1 site AC + DC combined
AC dynamic switch performance | M2 DS5 Quasar Upto 2kA short circuit | M2 DS5 Quasar Upto 2kA short circuit | M2 DS6 Pulsar Upto 7.5kA short circuit | M2 DS6 Pulsar Upto 7.5kA short circuit | M2 DS5 Quasar Upto 2kA short circuit
DC parametric test | 3kV 200A (integrated) | 3kV 200A (integrated) | 3kV 600A (integrated) Expandable to 1,000A | 3kV 600A (integrated) Expandable to 1,000A | 3kV 200A (integrated)
Gate oxide and quality | Gate resistance & capacitance | Gate resistance & capacitance | Gate resistance & capacitance | Gate resistance & capacitance | Gate resistance & capacitance
UIS avalanche / body diode quality | — | 2kV 1000A AC test | — | 2kV 1000A AC test | —

附注
M2 面向下一代宽禁带 (WBG) 功率产品，支持快速重配置、模块化扩展（booster、DS5/DS6 发电机）以及面向生产的安全与可靠性设计。系统支持与 pick-and-place、gravity feed 与 leadframe 手柄的友好集成，适合高混合/低量产以及向高产能扩展的场景。

特性 / 技术规格

• 型号：M2 Flexible Edition — 面向 KGD、封装器件与小型模块的模块化 ATE 平台。
• 支持器件技术：SiC、GaN、硅功率器件（MOSFET、JFET、IGBT、晶体管、SCR、双极器件、二极管、TRIAC、智能功率器件）。
• 测试类型：静态 DC 参数测试、动态 AC 开关测试、雪崩、短路、DRB 应力测试、热学 die-attach/package 检查、门极氧化层/电阻/电容测试。
• DC parametric（集成）：最高 3 kV；典型集成电流为 200 A（标准）及 Pulsar 变体的 600 A；可通过 booster board 扩展至 1,000 A。
• AC dynamic switch performance：DS5 Quasar（最高 2 kA 短路）和 DS6 Pulsar（最高 7.5 kA 短路），取决于配置。
• 站位数量（M2 Flexible Edition 配置）：2 DUT x 2 sites (AC + DC)；其他变体支持 4 DUT x 2 sites 或单一合并站位。
• 架构：基于 loadboard，便于在封装类型和手柄接口（pick-and-place、gravity feed、leadframe strip handlers）之间快速切换。
• 可扩展性：模块化发电机扩展（DS5/DS6）、用于提高 LV 电流测试的 booster board；平台可随生产需求增长。
• 运行：坚固、精确的设计，适合 24/7 高产量生产并具备经过验证的安全功能。