3 轴扫描振镜的特点在于,采用了动态聚焦模块
(DFM),该模块灵活性强,适用于
要求在大幅面和三维
表面上进行扫描的应用。动态聚焦模块可确保激光光点保持在
整个工作范围的焦点一致性。ProSeries 型产品是一种
高性价比的解决方案,适用于常规应用,而
LightningTM II 型产品的出众之处则在于,其应用的要求
是保持24 小时以上的高稳定性。我们的扫描振镜
可选用多种光学组件和镜片镀膜,适用于范围从 紫外到 红外波长激光器。
特色:
稳定性好,可确保 24/7 性能恒定、不中断,且在处理大工作范围时,灵活性好。
波长选项:
355 nm
视场大小的范围 1:
200 – 2500 mm
输入光束的大小:
1 - 3 mm | 2 - 3 mm
最小光斑直径
(200 x 200 mm):
12 µm | 18 µm
跟踪误差:
0.2 ms
常规处理速度:
50 rad/s
重复精度 2:
<1 µrad
定位分辨率:
24 位
长期漂移 3:
<10 µrad
热漂移:
<2 µrad/°C
模块化或封闭式:
模块化
数据表: 3 轴扫描振镜:模块化、采用集成式 Z 轴
注意
除非另有说明,否则所有角度均为光学角度。
1.工作范围和输入孔镜随三镜头总成而异。
2.RMS、各轴。
3.针对 LightningTM II 扫描振镜:预热 30 分钟之后,在操作 8 小时过程之中。RMS、各轴。