皮拉尼真空计 BVT200

薄膜电容数字RS485

使用VersaTorr BVT200/225系列皮拉尼传感器建立新标准。这是一个多合一的宽范围测量解决方案，适用于广泛的真空应用选择。它有别于任何其他真空计，通过利用热损失原理，提供从 5.0E-3 到 1333 mbar 的整体经济高效的气体独立测量，并结合低至 1E-6 mbar 的测量。 在气体成分或类型可能改变的真空应用中，传统的依赖气体的皮拉尼真空计将导致测量与实际压力的偏差。Tri- Sensor传感器使用精密的电容式隔膜表（CDG）传感器，消除了对气体的依赖性，在气体特性发生变化时也能提供准确的测量。 集成的热损失MEMS Pirani传感器将测量范围扩大到1E-6mbar，并提供了一种新颖的电容式压力计自动调零功能，消除了传统电容式隔膜表手动调零的普遍需求。 特点和优点 超宽的测量范围，可达九十度 电容式膜片在低真空范围内增加了0.5%的精度 在5E-3至1333mbar范围内可独立测量60年的气体 电容式压力计的自动调零 用于诊断的真空温度传感器 应用 负载锁 转运室 前沿线 真空粗加工线 薄膜加工