流量压力控制器 5866RT

可调节

功能丰富，适用于各种流量测量范围的高压应用 布鲁克斯 5866RT 型金属或弹性体密封压力控制器和流量计能够控制压力并测量流速。5866RT 型可接收远程压力传感器信号并利用可调节的积分式 PID 控制电子元件和控制阀，将压力维持在目标值。凭借着密封选件、电抛光接液表面以及较宽的压力和流量测定范围，5866RT 型设备可为各种工艺提供可靠的测量结果。 特点 一体化压力传感器 响应时间：<0.8 秒 流量测量范围宽，满量程流速测量范围可达 0 - 3 sccm 至 0 – 30,000 sccm 可以使用选配的金属密封件 电抛光接液表面（可选） 电致动阀复位 适用于阀前或阀后控制 模拟接口 优势 消除衰减、滞后和提升现象 高泄漏完整性 更好地控制压力和流量 可通过顶部安装的 DIP 开关进行动态精细调节 应用 薄膜加工 化工研究 石化研究 实验室 燃料电池 生命科学