薄膜电容真空传感器 V8C

模拟数字EtherCAT

基于蓝宝石 MEMS 的电容式压力计（V8 型）采用新型蓝宝石膜片结构，减少了因灰尘附着和腐蚀性气体引起的输出偏移。 V8 型电容式压力计可通过 EtherCAT 通信、机械开关、数字输入或软件进行零点调整。它还可以使用软件检查累积的零点偏移值。 其安装角度不受限制，为机器设计提供了极大的自由度。 (垂直或水平安装可能会受到限制，具体取决于压力范围和加热温度）。