薄膜电容真空计 SPG

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SPG5A-6A 是一款电容膜片真空计，采用蓝宝石电容压力传感器，实现高精度和可靠性、紧凑的尺寸和轻量化。提供自加热和非自加热型号。SPG5A/6A 特别适用于半导体制造业。特点 *-采用单晶蓝宝石， 具有优异的耐腐蚀性和高温性高耐腐蚀性和耐热性的单晶蓝宝石压力感应材料也具有出色的机械性能。电容式测量即使在高温下使用也具有很高的 重复性 *-高精度测量先进的信号处理技术有助于实现出色的温度特性和测量线性度 *-紧凑轻巧体 积小, 重量轻,得益于微加工技术 *-快速预热时间和稳定的传感器温度控制 基于微处理器的数字 PID 控制提供快速预热和稳定的传感器温度（自加热型号）。