比例流量调节器 Whisper™ MCW

压差质量用于气体

概述

• 为源压受限的气体系统设计的低压降质量流量控制器；仪器产生最小的压降（低至0.07 PSID）。
• 预装98种气体校准——切换气体时保持精度。
• 可测量质量流量、体积流量、温度和压力。
• 瞬时预热。
• 部分量程可达0.01–100%测量范围（10,000:1 turndown）；典型控制范围随系列不同而不同。
• 层流差压（DP）质量流量测量技术。
• 提供用于双向流量控制的配置。
• 可在不消耗较大压差的情况下控制并测量流量。
• 有限终身保修。

主要特性（系列附加细节）

• MCW 系列：快速比例控制；可选量程0.5 SCCM–1,000 SLPM；最高工作压力可达60 PSIA；精度可达±0.6%读数或±0.1%满量程；控制范围0.5–100%（200:1 turndown）；30 ms 控制响应。
• MCDW 系列：用于需要双向控制的应用的双向流量控制器；可选量程0.5 SCCM–500 SLPM；最高工作压力60 PSIA；双向精度可达±0.4%全量程跨正负满量程；控制范围0.5–100%（200:1 turndown）；100 ms 控制响应；支持封闭体积内的压力控制并测量流量以进行泄漏检查。
• 其他变体：MC（标准层流DP MFC）、SFF/MCV（真空压力，SEMI 尺寸）、IS-Max（爆炸性环境用本质安全）以及多个覆盖特定满量程流量的 MCW/MCDW 顶级零件变体。

规格表（可用量程）

• 0.5–5 SCCM
• 10 SCCM–100 SLPM
• 250–1000 SLPM
• MCDW：0.5 SCCM–500 SLPM

构建选项（表）
通信协议：RS-232（默认）；RS-485；模拟（4-20 mA、0-10 V、0-5 V、1-5 V）；Modbus RTU（通过 RS-232/RS-485）；Modbus TCP/IP；DeviceNet；EtherCAT；EtherNet/IP；PROFIBUS；PROFINET；IO-Link
显示：背光单色（默认）或 TFT 彩屏；集成或面板安装；无显示
过程连接：10-32、NPT、SAE、BSPP、VCRM、VCO、压缩接头
防护等级：IP40（默认）；IP66；IP67
危险环境等级：CSA Class 1 Div 2、ATEX Class 1 Zone 2（-X C1D2 构建选项）。某些危险认证使用 legacy 7V 固件。
潮湿气体：相对湿度补偿

构建选项说明

• C1D2（-X）选项：精度可达±0.8%读数并带一个计数器；可插拔锁定连接（IC、DB15、DB9）不得在危险区域内连接/断开；须安装于 IP54（或更高）等级的外壳内，且在正常操作期间不可在无工具情况下访问；电子部件装于铝制外壳；某些配置运行 legacy 7V 固件。

下载与软件

• 提供操作手册（最新与 legacy 固件版本）及 Whisper 系列宣传册。
• 提供用于仪器配置与数据采集的软件工具与驱动（FlowVision、LabVIEW 驱动、串口工具、Python 库）。

可用变体 / 顶级零件号（示例）

• MCW-0.5SCCM, MCW-1SCCM, MCW-2SCCM, MCW-5SCCM, MCW-10SCCM, MCW-20SCCM, MCW-50SCCM, MCW-100SCCM, MCW-200SCCM, MCW-500SCCM, MCW-1SLPM, MCW-2SLPM, MCW-5SLPM, MCW-10SLPM, MCW-20SLPM
• MCHW-2SCCM, MCHW-5SLPM, MCPHW-100SLPM, MCPW-2SLPM, MCPW-5SLPM, MCPW-10SLPM, MCPW-20SLPM
• MCRHW-500SLPM, MCRHW-1000SLPM, MCRW-5SLPM, MCRW-10SLPM, MCRW-20SLPM, MCRW-40SLPM, MCRW-50SLPM, MCRW-100SLPM, MCRW-250SLPM, MCRW-500SLPM, MCRWH-1000SLPM, MCRWS-500SLPM, MCTW-2SCCM

技术规格

• 满量程流量范围：0.5 SCCM–1,000 SLPM（视系列而定）
• 流量计范围（相关产品）：2 SCCM–1,000 SLPM
• 流量控制器范围：2 SCCM–1,000 SLPM（视系列而定）
• 工作压力范围（MCW 典型）：11.5–60 PSIA；某些系列可达 60 PSIA
• 精度：MCW 可达 ±0.6% 读数或 ±0.1% 满量程；MCDW 双向在 ± 满量程范围内可达 ±0.4% 总量程精度；C1D2 选项精度可达 ±0.8% 读数
• 调节比：测量调节比最高可达 10,000:1（部分量程 0.01–100%）；典型控制调节比 200:1
• 控制响应时间：30 ms（MCW 典型）；100 ms（MCDW 双向）
• 测量输出：质量流量、体积流量、温度、压力
• 气体校准：98 种预装气体校准
• 通信：模拟（4-20 mA、电压）、RS-232、RS-485、Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、PROFIBUS、PROFINET、IO-Link
• 显示：背光单色（默认）或 TFT 彩屏；集成、面板安装或无显示
• 过程连接：10-32、NPT、SAE、BSPP、VCRM、VCO、压缩接头
• 防护等级选项：IP40（默认）；IP66；IP67
• 危险环境认证/选项：CSA Class 1 Div 2、ATEX Zone 2（通过 -X 选项）；对于连续危险区域，请考虑本质安全的 IS-Max 系列
• 环境补偿：针对潮湿气体的相对湿度补偿
• 保修：有限终身保修