比例流量调节器 MC

压差质量用于气体

概述
快速质量流量控制器，采用层流差压（DP）测量技术用于气体的自动测量与控制。为工业过程和研究应用设计，提供宽范围的满量程流量和压力选项、适用于不同应用的多种系列变体以及丰富的通信与构建选项。

主要特性

• 层流DP（差压）质量流量测量技术
• 测量质量流量、体积流量、温度和压力
• 预加载98–130种气体校准（视系列而定）
• 超快控制响应时间，可低至30 ms
• 部分变体测量与控制范围高达0.01%–100%（10,000:1 调节比）
• 工作压力范围从低真空到高压选项，视系列而定
• 有限终身保修

性能要点

• 满量程流量范围：0.5 SCCM – 12,000 SLPM（依系列与型号）
• 工作压力范围（示例）：11.5 – 160 PSIA（典型MC系列），高压变体可达320 PSIA
• 精度示例：标准MC可达±0.5%读数或±0.1%满量程（取较大者）；耐腐蚀变体可达±0.4%读数和±0.2%满量程
• 控制响应：最快30 ms（部分高压变体约100 ms）

可用系列及用途

• MC Series — 旗舰通用层流DP质量流量控制器；快速比例控制；宽范围流量选项（0.5 SCCM – 12,000 SLPM）
• MCS Series — 耐腐蚀控制器，减少接触介质的材料；可预加载约130种腐蚀性与非腐蚀性气体校准；精度示例 ±0.4%读数 / ±0.2%满量程
• MCQ Series — 高压控制器，适用于更高压力工艺，具有更高PSIA等级及相应精度权衡
• BIOC Series — 为生物反应器和发酵罐设计的控制器；符合ASME BPE，长期稳定，符合材料（包括USP Class VI弹性体），并面向可扩展性设计（10,000:1 工作范围）
• MCD Series — 双向质量流量控制器，配备两阀以控制双向流动
• MCT Series — 在两个气源之间切换的装置（两源一体）
• MCW / MCWD — 低压降层流DP型MFC
• SFF / MCV — 真空压力与SEMI外形选项
• IS‑Max — 适用于爆炸性环境的本质安全型MFC

构建选项与选择
通信协议：RS-232 串行（默认）；RS-485 串行；模拟（4–20 mA、0–10 Vdc、0–5 Vdc 或 1–5 Vdc）；Modbus RTU（经 RS-232 或 RS-485）；Modbus TCP/IP；DeviceNet；EtherCAT；EtherNet/IP；PROFIBUS；PROFINET；IO-Link
显示：背光单色（默认）或 TFT 彩色；集成或面板安装；无显示
过程连接：10-32、NPT、SAE、BSPP、VCRM、VCO、压缩接头（型号选择不同）
防护等级：IP40（默认）；可选 IP66、IP67
危险环境等级：可选 CSA Class 1 Div 2 与 ATEX Class 1 Zone 2（基于系列/选项）
湿气体：可提供相对湿度补偿
测量技术：层流差压（DP）流量传感，带温度与压力修正

规格书系列 / 型号组

• MC 家族规格范围（低/中/高满量程组覆盖 0.5–12,000 SLPM，视范围而定）
• MCS 家族规格涵盖耐腐蚀选项及其范围
• MCQ 家族规格涵盖高压控制器选项
• BIOC 家族规格涵盖生物反应器/发酵器特定范围和合规性

附加说明
许多 MC 系列仪器可选危险区构建、不同显示与连接器选项，以及广泛的通信协议和接头选项。仪器为订制生产，可选择校准与精度配置。

技术规范

• 测量方法：层流差压（DP），带温度与压力修正
• 测量变量：质量流量、体积流量、温度、压力
• 满量程流量范围：0.5 SCCM – 12,000 SLPM（型号相关）
• 产品页面列出的范围示例：0.5 SCCM、1 SCCM、2 SCCM、5 SCCM、10 SCCM、20 SCCM、50 SCCM、100 SCCM、200 SCCM、500 SCCM、1 SLPM、2 SLPM、5 SLPM、10 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、250 SLPM、500 SLPM、1,000 SLPM 等
• 工作压力：MC 典型 11.5 – 160 PSIA；MCQ 可达 320 PSIA（视变体而定）
• 精度示例：可达 ±0.4%–±0.6% 读数或 ±0.1%–0.2% 满量程，取决于系列和校准
• 控制范围 / 调节比：部分 MC/BIOC 变体可达 10,000:1；其他为 200:1 或 1–100%，视系列而定
• 控制响应：最快 30 ms；部分高压变体约 100 ms
• 预加载气体校准：通常为数十种至100多种（例如 98–130，视系列而定）
• 显示：背光单色或 TFT 彩色，集成或面板安装，或无显示
• 通信：模拟、RS-232、RS-485、Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、PROFIBUS、PROFINET、IO-Link
• 过程连接：10-32、NPT、SAE、BSPP、VCRM、VCO、压缩（型号相关）
• IP 选项：默认 IP40；可选 IP66 / IP67
• 危险区构建选项：-X 构建支持 CSA Class 1 Division 2 / ATEX Zone 2；IS-Max 系列提供本质安全型以适应更危险区域