预对准模块 WAM200/300 VAC

Adenso WAM200/300 VAC WaferAlignment.Module 对齐圆形和角形晶片、透明基板和载体等基板的中心位置和角度位置。WAM 可与 Adenso WHR WaferHandling.Robot 完美结合 - 机器人通过接口自动接收来自 WaferAlignment.Module 的校正数据。 您的优势 占地面积：直接集成到集群系统中，节省空间 灵活：可实现不同的基板尺寸和几何形状 高效：快速对齐 精确：通过 Adenso DDU 直接驱动装置 降低成本：节省投资和运营成本