机器人搬运设备 WHM

集成式晶圆

由 Adenso 开发的 WHM 晶圆处理模块配有中央真空室和集成的 WHR 晶圆处理机器人，专为在高真空中处理基片/载体而优化。我们的 WHM WaferHandling.Module 可完全独立运行，节省空间，并可方便地与运行中的工艺站对接，功能齐全 - 您的真空簇工具已准备就绪！ WHR 晶圆处理机器人 带 4 至 8 个端口的真空室 LLM LoadLock 模块 隐形载体 WAM 晶圆对准模块 flp foup300 vac.loadport Adenso WHR 晶圆处理机器人是我们模块化 VAC.ROBOTICS 平台的核心。Adenso WHR 在真空机器人（工业真空机器人）中承担着处理敏感和大型基板的任务，并针对最大负载能力和大范围进行了优化。简单的机械臂几何形状允许使用小型闸阀和紧凑的搬运旋转区域。 优势一览 范围：最大的移动距离 - 最大的灵活性 装载量最大的装载能力 - 无限制的基质选择 闸阀：智能运动系统--最小的闸阀 脚印：节省空间的运动学 - 最小的安装空间 复杂性：使用 Adenso 保持简单 - 节约空间和资金！