MT-100-Z70。小尺寸的测量台与高分辨率的变焦光学装置相结合
测量工作站MT-100-Z70将高分辨率光学系统和视频变焦显微镜Z70的高效摄像技术与模块化测量台系统MT-100相结合。该设备除了与生产有关的材料和产品测试外,还非常适合在X、Y和Z方向对层和结构进行测量。
应用。
μm范围内的高度测量(层和结构厚度,划痕)
测量平面部件(晶圆和掩模)。
微观和宏观结构的检查和测量
材料分析和金相检验
印刷电路板(PCBs)和金属研磨探头的检查
优势。
光学-机械-模块化系统使测量设备可以灵活地适应特定的任务
同轴灯和LED环形灯提供最佳的物体照明
带有线性测量系统的测量台MT-100实现了精确定位和最高的测量精度
软件JE.Mess/JE.Control提供了广泛的可能性来归档图像,文件,图像编辑和各种测量功能。
选项。
焦点和变焦设置电动化
物镜的选择决定了放大率范围和操作距离
带电动轴的测量台
测量范围/测量台尺寸符合客户要求
透明度单元
光圈膜片
偏振滤光片
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