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KoCoS Messtechnik自动测量系统
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... 自动晶圆边缘轮廓仪 WATOM 200/300mm 晶圆边缘 测量 - 精确无误 半导体工业中使用的图案越来越小,这就要求使用越来越先进的高质量材料。为了应对晶圆质量的稳步提高,KoCoS 光学 测量公司开发了 WATOM,这是一种晶圆边缘和凹槽轮廓 测量工具,预示着一个极其精确的晶圆几何形状 测量新时代的到来。 WATOM LS ...
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... LOTOS - 三维 测量和检测 LOTOS 自动 测量 系统可快速、精确地 测量任何 测量对象的完整内外轮廓或单个区域,而不论其形状如何,并检测其是否存在缺陷。三维非接触式 测量是通过光学 测量传感器进行的,精度在微米范围内。 测量结果是 测量对象的三维模型。功能强大的直观软件可快速评估 测量结果。 非常坚固耐用的单机 系统,配有集成操作触摸屏和高性能评估单元,可实现最高的 测量和评估速度。 符合人体工程学的设计使 系统极易维护和保养。此外,LOTOS ...
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... 自动晶圆边缘轮廓仪 WATOM 150/200mm 晶圆边缘 测量 - 可靠的投影技术 WATOM CCD 采用轮廓投影技术替代 LS 技术,为要求不高的轮廓 测量提供理想的解决方案,特别是在不需要缺口 测量的情况下。CMOS 摄像机通过远心光源捕捉晶片边缘的轮廓图像。 WATOM 采用模块化设计,可与现代半导体制造工艺中的各种 自动化解决方案相结合,无论是手动装载单个晶圆还是采用 自动材料处理 系统 ...
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... 非常坚固耐用的单机 系统,针对在线 测量进行了优化,集成了操作员触摸屏和高性能评估单元,可实现最高的 测量和评估速度。 其设计经过优化,可集成到生产过程中,因此特别适用于 100% 在线检测。 测量台上方和周围宽敞的自由空间确保了通过机器人或龙门架装载测试工件的极大灵活性。 LOTOS - 三维 测量和检测 LOTOS 自动 测量 系统可快速、精确地 测量任何 测量对象的完整内外轮廓或单个区域,而不论其形状如何,并检测其是否存在缺陷。采用光学 测量传感器进行三维非接触式 测量,精度可达 ...
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... LOTOS LC / LT 非常灵活、经济高效的标准 测量 系统。 独立式 系统配有一个高度可调的操作触摸屏和一个集成评估单元。该 系统既适用于生产环境,也适用于实验室或 测量室。 LOTOS - 3D 测量和检测 LOTOS 自动 测量 系统可快速、精确地 测量任何 测量对象的完整内外轮廓或单个区域,无论其形状如何,并检测其是否存在缺陷。三维非接触式 测量是通过光学 测量传感器进行的,精度在微米范围内。 测量结果是 测量对象的三维模型。功能强大的直观软件可快速评估 测量结果。 ...
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... LOTOS O 开放式 测量站,非常适合在实验室和 测量室以及洁净的生产环境中使用。 它可以根据相应的精度要求、 测量速度和评估选项进行非常灵活的配置。此外,LOTOS O 系统还具有极高的成本效益和经济性。 LOTOS - 三维 测量和检测 LOTOS 自动 测量 系统可快速、精确地 测量任何 测量对象的完整内外轮廓或单个区域,而不论其形状如何,并检测其是否存在缺陷。采用光学 测量传感器进行三维非接触式 测量,精度可达 ...
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... 灵活的质量控制和流程控制 OMCAT L55 是一种灵活的标准 测量 系统,适用于生产环境、实验室或 测量室。它配有一个高度可调的操作触摸屏和一个集成的评估单元。 由于占地面积小,该标准模块非常节省空间。集成的评估单元可确保快速、全 自动的 测量评估。OMCAT L55 内部有多种连接选项,可通过读码器等外围设备进行扩展。 ...
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