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质量流量: 0 l/min - 0.1 l/min
工艺温度: 0 °C - 80 °C
工艺压力: 1.1 bar - 3.5 bar
... 喷嘴具有更好的阀门关闭和耐腐蚀性能 稳定性性和较小的颗粒风险，减少停机时间和优化产量 状态监控功能 为更智能的故障预测提供更多的内部数据 状态监控功能的输出项 流量/压力调零计数 阀门驱动计数 记录最大/最小P0,P1,P2压力 最大/最小块 温度记录 总时间超过/低于压力规格 总时间超过/低于 温度规格 总工作时间 总控制时间 总流动时间(每个校准实例) 总 流量(每个校准实例) ...
HORIBA STEC
工艺温度: 0 °C - 80 °C
工艺压力: 0.13 bar - 4 bar
重复精度: 0.01 % - 0.3 %
... PFA 喷嘴 鲁棒性和较小的颗粒风险，减少停机时间和优化产量 状态监控功能 为更智能的故障预测提供更多的内部数据 状态监控功能的输出项 流量/压力调零计数 阀门驱动计数 记录最大/最小P0,P1,P2压力 最大/最小块 温度记录 总时间超过/低于压力规格 总时间超过/低于 温度规格 总工作时间 总控制时间 总流动时间(每个校准实例) 总 流量(每个校准实例) ...
HORIBA STEC
工艺温度: 0 °C - 80 °C
工艺压力: 3.5 bar - 7.5 bar
重复精度: 0.03 % - 0.3 %
... 先进的工艺健康监控功能允许操作人员自行进行测试，即使提高通过量，通常也能在三秒或更短的时间内完成测试。 高精度 先进的三维调整功能提高了工艺气的 流量精度 快速响应 响应时间：< 0.8 秒 可实现精确、稳定的 流量控制 动态范围 控制范围广：0.2% 满量程 至 100% 满量程 技术文件 压力型质 量流量控制器 CRITERION D507 ...
HORIBA STEC
工艺温度: 15 °C - 45 °C
工艺压力: 2.4 bar - 4.12 bar
... D700uF（微 流量）专为 ≤ 5SCCM 流量应用而设计。 在高纵横比工艺中，≤ 5SCCM 流量控制至关重要。 专用组件和新开发的内部低 流量标准可实现低至 0.025SCCM 的高精度 流量控制。 低至 0.025SCCM 的 流量控制能力 精确的调谐气体控制，提高工艺可调性 ...
HORIBA STEC
质量流量: 0.1, 0.3 l/min
工艺压力: 0.5 bar - 4 bar
重复精度: 0.15, 0.01 %
... SEC-Z700S 系列配备了新开发的热传感器和压力补偿功能，可实现稳定的 流量控制。集成压力测量功能降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。 新功能简化了供气系统。典型的多腔室气体管线具有管线调节器、压力传感器和过滤器，以避免由压力波动引起的质 量流量控制器串扰现象。 SEC-Z700S 系列可以不受上流和下流压力的影响，提供稳定的 流量控制。提供 流量输出、 温度和压力读数。 基本特征 ...
HORIBA STEC
... 喷嘴具有更好的阀门关闭和耐腐蚀性能 稳定性性和较小的颗粒风险，减少停机时间和优化产量 状态监控功能 为更智能的故障预测提供更多的内部数据 状态监控功能的输出项 流量/压力调零计数 阀门驱动计数 记录最大/最小P0,P1,P2压力 最大/最小块 温度记录 总时间超过/低于压力规格 总时间超过/低于 温度规格 总工作时间 总控制时间 总流动时间(每个校准实例) 总 流量(每个校准实例) ...
HORIBA STEC
质量流量: 0 us gal/min - 100 us gal/min
工艺温度: 5 °C - 50 °C
工艺压力: 0.5 bar - 3 bar
... 系列数字式液体质 量流量控制器采用珀尔帖元件冷却液体，而非更常见的热交换方法。该技术消除了低沸点化学物质沸腾的风险，从而实现更安全的化学控制。 提供微升至超低 流量控制 实现低沸点和高粘度液体材料的精确 流量控制 超洁净设计 测量技术 冷却测量方法 该系列液体质 量流量控制器中的 流量传感器由与毛细管接触的电子冷却元件（珀尔帖元件）以及几个 温度检测元件组成。当液体流动时，传感器检测对应 流量的温升（ΔT），并以 流量显示。与热交换不同，这种冷却方法能够测量低沸点液体的 流量。此外，该方法还能防止由于二次排放 ...
HORIBA STEC